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F4000系列質(zhì)量流量計(jì)

量程 10 0SCCM - 1000 SLPM,±2% 滿量程精度,優(yōu)于 50 ms 響應(yīng)時(shí)間

F4000系列質(zhì)量流量計(jì)是最新一代工業(yè)微機(jī)電產(chǎn)品,采用基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的流量傳感器,適用于廣泛的氣體流量精密測(cè)量領(lǐng)域。
F4000系列量程覆蓋范圍100sccm-1000slpm(氮?dú)獾刃В?控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。
提供Modbus-RTU (RS485)數(shù)字信號(hào),模擬信號(hào)(4-20mA或0-5V)通信接口,和開(kāi)關(guān)量輸出。所需的電源電壓為9-32V。
F4000系列緊湊設(shè)計(jì)只有55mm的長(zhǎng)度和37.5mm的高度,高度是傳統(tǒng)產(chǎn)品尺寸的3/5,并且本產(chǎn)品可以在360°任意角度下安裝使用。
F4000系列的控制器采用最新一代的MEMS技術(shù)和集成化設(shè)計(jì),體積更小,性?xún)r(jià)比更高。
相比傳統(tǒng)毛細(xì)管熱式原理產(chǎn)品,F(xiàn)4000系列具有更佳的耐污染、耐粉塵、耐水汽能力,可用于復(fù)雜工況下的流量精準(zhǔn)測(cè)量和控制。
配合自主研發(fā)的上位機(jī)軟件FlowView,來(lái)實(shí)現(xiàn)更多樣的數(shù)據(jù)在線監(jiān)測(cè)和控制。
該產(chǎn)品采用快速響應(yīng)的優(yōu)質(zhì)MEMS芯片,保持優(yōu)秀的測(cè)量穩(wěn)定性。

應(yīng)用及案例


· 氣相色譜儀

· 配氣儀

· 真空鍍膜

· 泄漏檢測(cè)

· 生物發(fā)酵

· 食品和制藥

· 實(shí)驗(yàn)室等



特點(diǎn)

· 響應(yīng)時(shí)間≤50毫秒

· 100:1寬量程比

· 鋁合金底座,或316L不銹鋼可選

· OLED顯示屏

· 14 項(xiàng) 功 能 可 調(diào)

· 結(jié)構(gòu)緊湊小巧易于安裝

· 配套“SmartFlow”上位機(jī)軟件




技術(shù)指標(biāo)


性能參數(shù)

氣體要求

潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體

氣體種類(lèi)

氦氣、氬氣、氫氣、空氣、氮?dú)狻⒀鯕?、二氧化碳、甲烷?/span>

注:其它氣體請(qǐng)咨詢(xún)

量程

100sccm - 1000slpm(相對(duì)氮?dú)釴2)

控制范圍(量程比)

1% - 100%(100:1)

精度

±2%F.S.

重復(fù)性

±0.2%F.S.    

溫度漂移系數(shù)

≤0.1%RD/℃

壓力漂移系數(shù)

≤0.1%RD/Bar

啟動(dòng)時(shí)間

≤1s

響應(yīng)時(shí)間

≤ 50ms

操作條件

標(biāo)準(zhǔn)參考條件(STP標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力)

25℃ 和1atm

工作溫度

0 - 50℃

工作濕度

10% - 90%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝霜)

最大耐壓

1 MPa

破壞壓力

1.5 MPa

儲(chǔ)存溫度

-20到85℃

機(jī)械參數(shù)

氣路連接接口

底座:G1/4英寸,G1/2英寸

快 插:6mm,  8mm ,10mm,12mm

VCR:1/4英寸

注:其它接口請(qǐng)咨詢(xún)

主體材質(zhì)

底座:鋁合金,316L不銹鋼(可選)

外殼:注塑

接液材質(zhì)

底座:鋁合金,或316L不銹鋼

密封圈: FKM氟橡膠

MEMS傳感器:氮化硅

密封材質(zhì)

FKM氟橡膠

防護(hù)等級(jí)

IP40

安裝方向

任意方向

重量

鋁合金:59克,188克

不銹鋼:134克,485克

電氣參數(shù)(供電和通信)

供電電壓

DC 9 - 24V (支持USB供電)

功耗

≤60mA

供電和通信接口

JGT 5Pin

電壓輸出信號(hào)

0 - 5V 、 0.5 - 4.5V、V1 -5V

電流輸出信號(hào)

0 – 20mA 、4 - 20mA

數(shù)字輸出信號(hào)

RS485 (MODBUS)

報(bào)警信號(hào)信號(hào)

PNP、NPN

顯示方式

瞬時(shí)流量、累計(jì)流量(可翻轉(zhuǎn)顯示正反)

顯示屏尺寸

1.09英寸

顯示屏分辨率

64 x 128 DOTs

通信協(xié)議

Modbus-RTU

設(shè)備地址

1(默認(rèn))- 253

壓降

量程

壓降

100 SCCM

0.1 kPa

500 SCCM

0.8 kPa

1 SLPM

0.3 kPa

2 SLPM

1 kPa

10 SLPM

0.7 kPa

20 SLPM

2.4 kPa

50 SLPM

7 kPa

100 SLPM

17.6 kPa

200 SLPM

59.8 kPa

500 SLPM

83.6KPa

1000 SLPM

247KPa


訂購(gòu)選型


代碼示例: F4000-2L-TM6-013-44

代碼

示例

F4000產(chǎn)品系列

類(lèi)型

質(zhì)量流量計(jì)

針閥流量調(diào)節(jié)

電磁閥流量調(diào)節(jié)

F4000

F4001

F4003

F4000

量程



100   sccm

1     slpm

5     slpm

10    slpm

20    slpm

50    slpm

100   slpm

200   slpm

500   slpm

1000  slpm

100C

1L

5L

10L

20L

50L

100L

200L

500L

1000L

2L

氣路連列接口



快插 6mm

快插 8mm

快插 10mm

快插 12mm

VCR  1/4英寸

TM6

TM8

TM10

TM12

VC4

TM6

氣體 ( 遵循半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)E52-0703)



名稱(chēng)

氦氣

氬氣

氫氣

空氣

氮?dú)?/span>

氧氣

二氧化碳 

甲烷

注:其它氣體請(qǐng)咨詢(xún) 

分子式

He

Ar

H2

Air

N2

O2

CO2

CH4

 

 

001

004

007

008

013

015

025

028

 

013

模擬通信和數(shù)字通信



4-20mA模擬輸出信號(hào)

4

5

4

0-5V模擬輸出信號(hào)

開(kāi)關(guān)量輸出信號(hào)(PNP/NPN)

RS485數(shù)字輸出信號(hào)

2

4

4

其它參數(shù)

(1) 質(zhì)量流量計(jì)/控制器進(jìn)入口和出口壓力    

(2) 氣體溫度




產(chǎn)品詳圖





產(chǎn)品大圖