產品中心
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量程0-100 SCCM到0-250 SLPM，量程可控比0.01%-100%，低價位，響應時間100 ms，精度優(yōu)于1%
美國ALICAT 11系列基本型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的11系列數字式質量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質電磁閥以及優(yōu)化的PID調校，可達到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持優(yōu)越的穩(wěn)定性。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半導體 ● 汽車制造
● 光伏 ● 燃料電池
● 計量 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 低價位產品
● 標配模擬和數字信號
● 量程可控比0.01%-100%
● 響應時間快 僅需100ms（可調）
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了 98 種氣體，請參考背面，一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0-100 SCCM 到 0-250 SLPM（詳情請咨詢）
測量和控制范圍 0.01~100% 滿量程
最大顯示流量 102.4%FS
精 度 ± （0.8%RD+0.2%FS），RD-讀數 FS-滿量程
重 復 性 ±（0.2% 讀數 + 0.02% 滿量程）
零點&滿量程溫度漂移： 0.02% FS / ℃ （從25 ℃開始）
零點&滿量程壓力漂移： ±（0.08% 讀數 + 0.02% 滿量程）（從校準壓力開始）
預熱時間 <1s
響應時間 100 ms（可調）
默認標況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ +60 ℃
工作濕度 0 - 95%，無冷凝
上限工作壓力 1 MPa 表壓
極限耐壓 1.1 MPa 表壓
下限操作壓力 建議在絕壓 80 KPa 以上使用（其他請咨詢）
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）
供電電壓 12-24VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-24 VDC）供電電流 250 mA，1 A（詳情咨詢）額外加40 mA（選4 - 20 mA）
電氣接口 DB9M
材 質 302、303、304、316L、430FR 不銹鋼、 FKM氟橡膠、 陶瓷、
銅、玻璃、金、環(huán)氧樹脂、硅橡膠、 聚酰胺、硅
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
1
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1
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品種齊全，上萬種儀表
國外直銷， 原裝進口
誠信服務，售后保證
